详细信息
一、产品简介
PLR3000系列光纤激光尺基于激光干涉测量原理，是一种高精密度、高灵敏度、高效快速的先进位置检测设备，在非接触高精度测量领域具有其它测量方法无可比拟的优势，相比传统钢带尺或玻璃光栅，具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更高的稳定性，具有安装快捷，易于准直等特点，是特别为超高精度位置反馈应用而设计，在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。
PLR3000光纤激光尺配置高稳定氦氖激光光源，稳频精度最高可达0.02ppm。激光通过保偏光纤引导，用户可轻松将干涉仪配置到任意需要测量位置，最大限度减小阿贝误差。
PLR3000光纤激光尺可根据用户需求，配置单轴、双轴以及三轴输出，轻松实现多轴测量或多自由度测量。同时提供多种干涉探头配置，用户可根据实际需求选择角锥棱镜干涉仪、平面镜干涉仪和差分干涉仪以及无内置干涉镜组的测量探头，满足用户各种复杂场景应用。
此外，我们还可根据客户应用场景，定制个性化解决方案，配合客户解决实际应用需求。
二、功能特点
● 高分辨率数字正交信号输出，分辨率达10nm（可外部拓展）。
● 高测量精度，线性测量精度达0.2~0.5ppm。
● 高稳频精度，可达0.02~0.05ppm。
● 测量范围大，最大量程可达4m（可拓展）。
● 激光发射装置与干涉探头分离，通过3m铠装光纤与电缆连接，可将激光尺主机远离被测量设备，便于安装，同时还可避免主机散热对测量通路的影响。
● 输出正交数字信号或1Vpp正余弦信号，可以适用于不同的控制器。
● 体积小巧，适合狭小空间安装，可最大限度降低阿贝误差。
● 即可作为激光干涉仪进行测量，也可用于闭环位置反馈控制。
● 多通道输出，可轻松实现多轴同时测量及多自由度测量。
● 环境补偿功能，一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。
恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
