2017-04-05
SJ6000激光干涉仪使用方法之直线度测量，在进行直线度测量之前，先将激光干涉仪平稳放置于三脚架的云台上，然后在被测仪器设备上架设好直线度干涉镜和反射镜，然后调整镜组与激光头的位置，使激光头发射出的激光光束能经由干涉镜分光束后，再由反射镜返回激光器中，调整好镜组与激光器的位置后就可以进行直线度测量了。
SJ6000激光干涉仪测量直线度的工作原理为：
激光发射器的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两道光束并入射到直线度反射镜中，经过直线度反射镜反射后，沿着新光路返回到直线度干涉镜中，经直线度干涉镜合束后返回激光器的进光口，由光电探测器、分析器完成计数和测量。通过检测光路与干涉镜和反射镜之间的相对横向位移的变化，进行直线度测量。直线度测量根据直线度干涉镜和反射镜的安装方向差异，进行导轨的横向或纵向直线度测量。
直线度测量构建图
工作台横向直线度测量
工作台纵向直线度测量
直线度测量时的数据采集方法：：
测量时，直线度反射镜固定，直线度干涉镜安装在移动的工作台上，通过直线度干涉镜的移动就可以记录下工作台的直线度。您可以编写“运行程序”，将机器从一个目标位置等距离移到下一个目标位置，并在每个目标位置暂停几秒钟，在每次暂停过程中进行测量。
Z轴直线度测量：
此方法使用于直线度反射镜无法安装在运动轴的后端，如机床Z轴直线度测量，直线度反射镜无法安装在Z轴上端，因此需要大角锥反射镜使光路反射到Z轴下端进行测量。
