2017-05-03
激光干涉仪是一种应用功能广泛的检测仪器，在工业制造行业发挥着重要作用，可以检测加工中心及机床、三坐标测量机的各项精度参数，使被加工工件更加符合标准，提高了产出的整体质量度。龙8仪器SJ6000激光干涉仪可以实现线性定位精度、角度、直线度、回转轴等几何量检测功能，同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度，以及校准机床的回转轴精度。
通过激光干涉仪对机床的校准前和校准后数据进行分析，可得出机床的定位误差，从而得出激光干涉仪检测报告。以下是某电子科技公司使用SJ6000激光干涉仪检测陀飞轮Y轴的检测报告。通过对陀飞轮Y轴校准前后数据和趋势图的分析，我们可以得知该设备Y轴的定位精度误差，以便于后续对设备进行误差补偿。
陀飞轮-Y轴校准前趋势图：
数据分析可得：此机床Y轴反向差值很大（35um），因此引起较大的定位误差，需要先对反向差值进行补偿，后对其定位精度进行补偿。
陀飞轮-Y轴校准后趋势图：
对设备进行反向间隙补偿，补偿后设备Y轴反向间隙由35um减小到12um明显缩小。后对其定位精度进行补偿，正行程单方向误差在±3um左右，明显改善。但是在（300mm-500mm）段依然存在较大的反向间隙（12um），然而其他范围反向间隙在3um以内。是因为Y轴300mm-500mm范围是日常使用范围，表明此处丝杆已经老化。按照常规的单向补偿已经不能很好的达到补偿效果，建议后续对此轴进行双向补偿。
SJ6000激光干涉仪的检测报告采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel文档。
