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一文让你读懂光学轮廓仪

2017-11-16

定义

  光学轮廓仪一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

 

功能

  光学轮廓仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。一句话概括就是测量超光滑表面(纳米级别)微观形貌。

典型应用

龙8仪器 SuperView W1系列光学轮廓仪应用非常广泛。

  • 在3C领域,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;

  • 在LED行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度;

  • 在光纤通信行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;

  • 在集成电路行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

  • 在MEMS行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度;

  • 在军事领域,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。

  • 更多应用,就不一一列举了。

     

 

国内主要型号及技术指标

目前国内代表型号有龙8仪器SuperView W1系列,其主要技术指标如下:

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