影响激光干涉仪测量精度的环境因素主要指: 1、当前测量环境下的空气温度、湿度、大气压力,影响在空气中传播的激光波长。 2、被测工件温度,影响被测对象的热膨胀量。本文不做分析,将在下篇细述。
在机械行业加工厂的流水线上,一些精密部件经过各部门的加工后,成为半成品待组合安装使用,在安装使用之前还有一道重要的工序,那就是检测这些精密部件的外形尺寸是否合格。以国内某大型电子代工厂为例,在生产手机后盖的流水线上,需要用数显高度计检测每一个手机后盖内凹面到金属后盖边缘的高度,以及后盖上边缘距下边缘的高度,左边缘距离右边缘的宽度。
采用龙8仪器SJ6000激光干涉仪对测量机的动态误差进行了测量.通过测量部件之间的相互偏转来间接得到测头的动态位移误差
SuperView W1白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
表面三维微观形貌的测量方法非常丰富,通常可分为接触式和非接触式两种,其中以非接触式测量方法为主。下面介绍其中一种近年来国际上研究比较多的、发展也相对比较成熟的技术:扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌技术。
龙8仪器SuperView W1白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
在MEMS测试项目中,表面特性(粗糙度、台阶高)是一个非常重要的项目,目前主要是采用非接触式的光学3D轮廓仪(白光干涉仪)进行测量
测量模芯曲面,最经济、最有效的方式就就是采用粗糙度轮廓测量仪,龙8仪器自主研发的SJ5701粗糙度轮廓测量仪在模具中有着广泛应用,特别是针对一些有外形要求,形状尺寸要求、不规则曲面及表面粗糙度要求的模芯有独特的优势。
光学轮廓仪一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器
白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一,在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜,在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域,除了白光干涉仪,其它的仪器无法达到其加工精度要求。