2019-07-18
白光干涉仪由于镜头视野较小,要想测量物体整个区域的表面情况,则需要用到拼接测量功能。
测量方法其实也很简单。
1.将被测物放置载物台上干涉物镜下方;
2.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件;
3.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度,找到干涉条纹;
4.手动微调XY,使得台阶出现在视频窗口中;
5.微调Z轴,通过坐标读数确认扫描范围;
6.设置扫描方式从下往上,填入扫描范围数值;
7.点击选项图标,根据台阶高度差确认自动找条纹上下限;
8.点击拼接测量图标,进入设置框;
9.手动调节XY轴到待测大区域的左上角,并点击确认测量起点位置,调节XY轴到待测区域的右下角,点击确认测量终点位置;
10.亦可直接在下方X方向和Y方向测量范围输入数值确认拼接区域;
11.点击设置框左下角的开始图标,即可开始测量。