2019-07-24
白光干涉仪由于镜头视野较小，要想测量物体整个区域的表面情况，只能用自动拼接测量功能，但耗时较多，这时候可以用自动多区域测量功能，在样品表面抽取多个测量区域进行测量，从而对样品进行评估分析。
测量方法很简单。
1.点击XY复位，使得镜头复位到载物台中心
2.将被测物放置在载物台夹具上，被测物中心大致和载物台中心重合；
3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件；
4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度，找到干涉条纹；
5.设置好扫描方式和扫描范围；
6.点击选项图标，确认自动找条纹上下限无误；
7.点击多区域测量图标，可选择方形和（椭）圆形两种测量区域形状；
9.根据被测物形状和尺寸，"形状”栏选择“椭圆平面”，X和Y方向按需设置；
10.点击弹出框右下角的“开始”图标，仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。
